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氟硅橡膠是在甲基乙烯基硅橡膠的分子側鏈上引入氟烷基或氟芳基而制成的聚合物。它具有優異的耐油、耐溶劑性能，但耐高溫、耐低溫性能不如甲基乙烯基硅橡膠，其工作溫度范圍為一50~250℃。氟硅橡膠品種不少，但獲得廣泛應用的僅有甲基乙烯基三氟丙基硅橡膠(methyl-vinyl-y-trifluoropropylsiliconerubber)或稱聚甲基乙烯基三氟丙基硅氧烷橡膠(polymethyl-vinyl-y-trmuoropropyl sioxane rubber)，簡稱為氟硅橡膠，代號為MFVQ，也稱硅氟橡膠。它對脂肪族、芳香族和氯化烴溶劑、石油基的各種燃料油、潤滑油、液壓油以及某些合成油(如二酯類潤滑油、硅酸酯類液壓油)在常溫和高溫下的穩定性都很好。

【制法】由甲基三氟丙基硅氧烷和甲基乙烯基硅氧烷共聚合而制得，也可采用三甲基三(y-三氟基)環三硅氧烷的開環聚合法來制備。

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